等静压石墨直拉单晶硅热场和多晶硅铸锭炉用加热器

等静压石墨是上世纪60年代发展起来的一种新型石墨材料，具有一系列优异的性能。譬如，等静压石墨的耐热性好，在惰性气氛下，随着温度的升高其机械强度不但不降低，反而升高，在2500℃左右时达到最高值; 与普通石墨相比，结构精细致密，而且均匀性好; 热膨胀系数很低，具有优异的抗热震性能; 各向同性; 耐化学腐蚀性强，导热性能和导电性能良好; 具有优异的机械加工性能。

正是由于具有这一系列的优异性能，等静压石墨在冶金、化学、电气、航空宇宙及原子能工业等领域得到广泛应用，而且，随着科学技术的发展，应用领域还在不断扩大。

在直拉单晶硅热场中，等静压石墨部件有坩埚、加热器、电极、隔热遮蔽板、籽晶夹持器、旋转坩埚用的底座、各种圆板、热反射板等约30种。

其中，80%的等静压石墨用于制造坩埚和加热器等。 近年来，对单晶硅棒的直径要求越来越大,300 mm晶片的生产日益成为主流。

与此相应，单晶炉加热区的直径大多为800 mm，炉内的石墨坩埚为了保 护放置其中的石英坩埚，直径达到了860 mm，加热器直径约960～1000 mm，其他部件的直径有的最大达到了1500 mm。

从2003年开始，人们对地球居住环境的保护意识逐渐增强， 人们越来越青睐不排放二氧化碳的自然能源。在这种趋势下，太阳能电池的生产急增。

在太阳能电池多晶硅片的制造过程中，首先要将多晶硅碎块熔铸成多晶硅方锭。其中铸锭炉的加热器需要用等静压石墨来制作。